用塵埃粒子計數器對高效過濾器檢測檢漏方法： 

用塵埃粒子計數器對高效過濾器檢測檢漏方法及檢測檢漏標準：用大氣塵為塵源與粒子計數器配合，對高效過濾器作檢漏檢查。打開風機，在離高效過濾器表面25mm處采用塵埃粒子計數器掃描檢測，掃描速度為5cm-30 cm/s，檢測出0.5μm的微粒數不得超過3500粒/m3。

塵埃粒子計數器高效過濾器檢漏方法：

潔凈度級別等于或高于100級的潔凈車間的高效過濾器安裝前必須作現場檢漏，重點是檢查過濾器有無破損漏泄等自身質量。

所有級別的潔凈車間，都要求對其安裝好的高效過濾器作檢漏，在現行規范沒有給出檢查數量時，可以自定一個比例，安裝檢漏的重點是空氣過濾器邊框密封質量。

高效過濾器檢漏常用的儀器有:塵埃粒子計數器和5C氣溶膠發生器。

用于測量潔凈環境中單位體積空氣內的塵埃粒子大小及數目，可直接檢測潔凈度等級為十級至三十萬級的潔凈環境。體積小、重量輕、檢測精度高、功能操作簡單明了，微處理器控制，可貯存、打印測量結果，測試潔凈環境十分便利。

5C氣溶膠發生器

5C氣溶膠發生器能產生一致的多種直徑分布的氣溶膠粒子，TDA-5C氣溶膠發生器與TDA-2G或TDA-2H等氣溶膠光度計配合使用時能提供足夠的挑戰粒子去測量高效過濾系統。

潔凈室高效過濾器粒子計數器法檢漏的一般規定

（1）被檢過濾器必須已測過風量，在設計風速的80%～120%之間運行。

（2）在被檢高效過濾器上風側測定大氣塵的微粒數，以大于或等于0.5ΜM微粒為準，其濃度必須大于或等于3.5×`10^4`粒/L；若檢測超高效過濾器，則以大于或等于0.1ΜM微粒為準，其濃度必須大于或等于3.5×`10^6`～3.5×`10^7`粒/L。

（3）若上風側濃度不符合上項規定，則應引入不經過濾的空氣，如果還達不到規定，則不宜用粒子計數器法和凝結核計數器法檢漏。

（4）檢漏時將采樣口放在距離被檢過濾器表面2～3CM處，以5～20MM/S的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封頭膠和安裝框架處進行掃描。

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